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SuperViewW1非接觸3d光學(xué)輪廓儀能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。主要是用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外，具有測(cè)量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。

從檢測(cè)效果和操作簡(jiǎn)便上來看，w系列光學(xué)表面輪廓儀是比較有優(yōu)勢(shì)的產(chǎn)品?？梢詼y(cè)到12mm，也可以測(cè)到更小的尺寸，xy載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm（可擴(kuò)展），局部位移精度可達(dá)亞微米級(jí)別，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um，Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達(dá)0.1nm級(jí)別，因此可測(cè)非常微小尺寸的器件。

要想測(cè)量物體整個(gè)區(qū)域的表面情況，只能用自動(dòng)拼接測(cè)量功能，但耗時(shí)較多。中圖儀器3d光學(xué)表面輪廓檢測(cè)儀的自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能，能在樣品表面抽取多個(gè)測(cè)量區(qū)域進(jìn)行測(cè)量，從而對(duì)樣品進(jìn)行評(píng)估分析。

SuperViewW1 3d光學(xué)表面輪廓儀器能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，主要用于質(zhì)量控制和檢測(cè)應(yīng)用。

?SuperViewW1三維光學(xué)輪廓儀檢測(cè)設(shè)備主要對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、腐蝕情況、孔隙間隙、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。是一款非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。

?SuperViewW1非接觸三維光學(xué)輪廓儀器是一款非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。它能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。