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當前位置:首頁產品中心顯微測量儀共聚焦顯微鏡VT6100研究級共焦顯微鏡系統(tǒng)
研究級共焦顯微鏡系統(tǒng)

產品簡介

中圖儀器VT6000研究級共焦顯微鏡系統(tǒng)是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器??蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

產品型號:VT6100
更新時間:2025-04-07
廠商性質:生產廠家
訪問量:778
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中圖儀器VT6000研究級共焦顯微鏡系統(tǒng)是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器??蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

研究級共焦顯微鏡系統(tǒng)

產品功能

(1)設備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;

(2)設備具備自動拼接功能,能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量;

(3)設備具備一體化操作的測量與分析軟件,預先設置好配置參數(shù)再進行測量,軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據并提供數(shù)據報表導出功能,即可快速實現(xiàn)批量測量功能;

(4)設備具備調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據處理功能;

(5)設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

(6)設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實現(xiàn)批量數(shù)據文件的快速分析功能;


工作原理

由LED光源發(fā)出的光束經過一個多孔盤和物鏡后,聚焦到樣品表面。之后光束經樣品表面反射回測量系統(tǒng)。再次通過MPD上的針孔時,反射光將只保留聚焦的光點。最后,光束經分光片反射后在相機上成像。

VT6000研究級共焦顯微鏡系統(tǒng)顯微成像主要采用3D捕獲的成像技術,使其具有較高的三維圖像分辨率,能夠清晰地展示微小物體的圖像形態(tài)細節(jié),顯示出精細的細節(jié)圖像。它具有直觀測量的特點,可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測,對大坡度的產品有更好的成像效果,在滿足精度的情況下使用場景更具有兼容性。

研究級共焦顯微鏡系統(tǒng)


應用領域

對各種產品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應用范例:

研究級共焦顯微鏡系統(tǒng)


產品特點

自設計之初,便定下了“簡單好用"四字方針的目標。

(1)結構簡單:儀器整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構成,控制單元集成在設備主機之內,亦可采用筆記本電腦驅動,真正實現(xiàn)了“拎著走"的便攜式設計;

(2)真彩圖像:配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像,對細節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn);

(3)操作便捷:采用全電動化設計,并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換,圖像視窗和分析視窗同界面的設計風格,實現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果;

(4)安全無憂:采用自研的電動鼻輪塔臺,并對軟件防撞設置與硬件傳感器防撞設置功能進行了優(yōu)化,確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應對。


部分技術指標

型號VT6100


行程范圍

X100mm
Y100mm
Z100mm
外形尺寸
520*380*600mm
儀器重量50kg
測量原理共聚焦光學系統(tǒng)
顯微物鏡10×;20×;50×;100×
視場范圍120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度測量
寬度測量
XY位移平臺負載10kg
控制方式電動
Z0軸掃描范圍10mm
物鏡塔臺5孔電動
光源白光LED

懇請注意:因市場發(fā)展和產品開發(fā)的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。


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