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SuperView W3三維白光干涉形貌儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的平整度、粗糙度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器白光干涉儀可以設(shè)置分析模板，提供多文件分析、一鍵分析等輔助分析功能，結(jié)合測量中提供的自動測量和批量測量功能，可實現(xiàn)對精密工件微觀形貌的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。

中圖儀器的SuperView W1三維白光形貌干涉儀一體化操作的測量與分析軟件，提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能，自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能，可實現(xiàn)批量測量功能。能真實地反映零件表面的特征以及衡量表面的質(zhì)量。